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應用物理系
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分類清單
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光學鍍膜研發實驗室

指導老師: 李文仁

地點: 本校林森校區科學館五樓

實驗室分機: 33470

實驗室簡介:

本實驗室是產學合作企業(昇明國際股份有限公司)投資共同建設之產學研發基地,主要製程設備為電子束蒸鍍機、反應離子蝕刻機及真空管狀爐,實驗室主要從事光學膜之設計、真空鍍膜製程開發及薄膜性質研究工作。

實驗室設備:

1. 電子束蒸鍍機 (E-beam Evaporator)

2. 反應離子蝕刻機 (Reactive Ion Etching System)

3. 真空管狀爐 (Vacuum Tube Furnace)

4. 超音波震洗機 (Ultrasonic Cleaner)

5. 抽風櫃 (Fume Hood)